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製品ラインナップ > 半導体・電子材料関連 > 抵抗率測定器
抵抗率測定器（シート抵抗測定器）
プロ技術者のための高性能ツール。
４探針法を用いて太陽電池用シリコンウェハやLCD基板、金属薄膜等のシート抵抗、または、体積抵抗を簡単で高精度に測定できるマニュアルタイプの計測器です。低抵抗 ～ 高抵抗の広範囲な測定に対応しています。
<用途>
1) シリコンインゴット製造→ウェハ製造工程（膜形成等様々な処理工程）における製品検査用
2) 液晶パネル（LCD基板）製造：成膜時の製品検査用
3) 幅広い電気導電性部材の製造過程での製品検査用
別途弊社構成の 「4探針プローブ」を用いて測定が可能となります。
【関連製品】4探針プローブ
■ Model sigma-5+
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シリコンウェハ等の抵抗率を正確に測定することができ、太陽電池向けシリコン用のハンディタイプのプローブもあります。
抵抗率測定に関する20年以上のノウハウと技術を活かし設計開発された高精度な抵抗率測定器です。
半導体基板並びに導電性薄膜基盤等の研究開発・検査工程、または製造ラインにおいての、シート抵抗値や体積抵抗値を高確度に求め、評価することが出来ます。
※写真は試料台RG-5との組合せです。
[基本仕様]
[特長]
・細かい設定が可能なスイッチ機能のインテリジェントパネル
・デスクサイズのコンパクト設計
・低抵抗〜高抵抗対応のワイド測定レンジ
・整流性による誤差を抑える電流極性切替え測定
・測定開始毎の自動ゼロ調整機能
・最適な電流を自動設定するオートレンジ機能
・試料の厚み補正機能
・測定値平均値表示とプリンタ平均値演算機能
・半導体用の温度補正機能
・各種温度補正係数入力機能
・データプリンタ用インターフェース付
・データ接続用インターフェース付
・試料テーブルの選択が可能 <基本仕様>
■ 薄膜向けハンディタイプ・シート抵抗測定器/抵抗率測定器
※この製品は現在販売を停止しております
ハンディタイプ・シート抵抗測定器SRM-232は４探針プローブを使用して、絶縁物上の導電性薄膜シート抵抗を測定することができます。また、抵抗率測定器PV-628は太陽電池基板等のSi半導体の抵抗率測定が可能です。いずれもの機種もデータセーブ・パソコンへのデータ出力ができ、電源は電池式のオートパワーオフ機能付です。
■ ハンディタイプ ・抵抗率測定器 Model PV-628
MODEL PV-628は太陽光発電用シリコン等の抵抗率測定に特化させたハンディタイプの4探針法測定器です。電源に電池を使用しているため持ち運びが容易で、測定物の形状や大きさの制限がなく、手軽に測定を行うことができます。
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