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製品ラインナップ > 半導体・電子材料関連 > 4探針プローブ
4探針プローブ [NPSバージョン]
抵抗率を測定する時に用いる高精度なプローブです。
現在、導電性材料の抵抗値を測定する最も信頼性の高い方法として4探針法があります。その測定で使用されるプローブの機械的性能が測定精度を大きく左右することは多くの測定技術者が認めるところです。
特に、接触式の破壊検査における半導体の測定には精度とともに耐久性が課題となります。
長年の経験と実績を誇るNPS製四探針プローブは高精度な半導体プローブとして世界的に認められており、標準プローブとして測定器メーカー各社に
採用いただいております。
新規開発のニードルは接続部に高耐久性ワンピース構造の低抵抗金属を使用し良好な導電性を保ち、さらにNPS独自の"マイクロエッジコンタクト"加工処理（IP,MT,SB,EP等）により多様化する試料の安定した測定が保証されます。(日本国内アセンブル品、調整品、および、アフターサービス品)
NPSは4探針プローブの取扱いを開始して半世紀が経つ専門会社です。プローブに関する技術相談、プローブ修理・検定等、また他社製プローブの調整も行ないます。（ナプソン、KLA、MPP、共和理研、他メーカー対応）
<主な特長>
高精度・高耐久性・世界標準器具・ 低価格・短期修理再生（FELLタイプ）針先からコネクターまで連続結線、特許式のリーフスプリング機構により接触時の変動が極小、試料別針先仕様, 日本国内での部品調達、アセンブル、性能管理
【関連製品】抵抗率測定器（シート抵抗測定器）
■4探針プローブ（NPタイプ）
ＮPSの４探針プローブは各部品を全て日本国内で製造し組み立て調整することで安定した供給と組立精度を実現しました。1971年創業当時より４探針プローブの取り扱いを始めて以来半導体の発展とともに蓄積されたノウハウが今日の４探針プローブに生かされています。弊社は様々な試料に対応できるよう４探針プローブヘッドに独自の調整を行い、4探針法抵抗率測定の高精度化を実現しております。
4探針プローブを例えると、機械でいうところのセンサー部分に当たります。
このセンサー部分の性能の良し悪しが測定結果に多大な影響を及ぼすのは言うまでもありません。
弊社４探針プローブは、自社製の抵抗率測定器とともに精度管理を行うことで信頼性のある製品をご提供させていただいております。
また、各社の測定器に対応したコネクターを接続することによりご使用いただけます。
■K-89PSシリーズ向け取付治具
専用の取付治具をオプションで販売しております。共和理研製の四探針プローブと同一の測定架台に取り付ける事が可能となります。詳しくは弊社営業までお問いください。
■ 4探針プローブヘッド
低価格で高精度なNPプローブに加えて弊社では修理調整可能な4探針プローブヘッドも製造しております。
修理可能なモデルの4探針プローブは修理・調整することにより再生使用が可能となります。また、ニードル、ガイド等の消耗部品のみの交換によりランニングコストを抑えることができます。
NPSは長年、海外製4探針プローブを自社内にて日本規格の精度にリアセンブルを行い販売、修理調整等を行いお客様にご提供させていただいておりました。
しかしながら、旧来の技術で製造された部材ではどうしてもクリアできない不具合が発生するため、精度と品質の向上を図るべく改良設計を弊社で行い、50年以上培ったノウ・ハウを基盤とした高精度4探針プローブの自社製造を行う経緯にいたりました。
TypeA~I
TypePE
プローブの種類は、測定試料の材質、表面状態、形状などに応じて選択します。
測定サンプル 推奨4探針プローブ（NPタイプの場合）
バルクインゴット・ブロック材 弊社プローブ型番 NP1-TSB2 (仕様:TC-40uR-200g) 例:先端半径40uR、針圧力200g
シリコン基板（ラップ、ミラー等） 弊社プローブ型番 NP1-TSB2 (仕様:TC-40uR-200g)
エピタキシャル層 弊社プローブ型番 NP4-TEP2 (仕様:TC-200uR-200g)
エピタキシャル層 (<1µm) 弊社プローブ型番 NP4-TEP1(仕様:TC-200uR-100g)
浅い拡散層 弊社プローブ型番 NP4-TIP1(仕様:TC-200uR-100g)
弊社プローブ型番 NP4-PMT1(仕様:P-200uR-100g)
イオン注入層 (低ドーズ） 弊社プローブ型番 NP5-TIP1 (仕様:TC-400uR-100g)
（高ドーズ） NP4-TIP2(仕様:TC-200uR-200g)
金属薄膜 弊社プローブ型番 NP4-TMT1(仕様:TC-200uR-100g)
NP4-PMT1(仕様:P-200uR-100g)
ITO層 弊社プローブ型番 NP5-TFT1(仕様:TC-400uR-100g)
■ 4探針プローブ
4探針プローブに関することは弊社までお問合せください！
4探針プローブを構成する各部品は、専用の加工機械の開発・製作から行い、専任の技術スタッフによる製造から出荷までの品質管理を行なうことにより、高精度、高耐久性の4探針プローブの提供を可能としています。また、長年の経験と国内ユーザーからのご要求に対応するため、独自の仕様を設定し、アセンブルを行なっております。4探針プローブに関する技術的な相談も承っております。詳細は弊社営業までお問合せ下さい。弊社の4探針プローブを初めてお使いになられるユーザー様にトライアル価格でご提供致します。また各社4探針プローブの修理、カスタマイズ（部品交換・オーバーホール）のご依頼にも柔軟に対応しております。お気軽にお問い合わせください。
主な使用用途
シリコンウェーハ、ITO薄膜等のシート抵抗値、抵抗率による膜厚測定管理
研究目的における体積抵抗率、表面抵抗率（Ω、Ω-cm、Ω/sq）
0.1ｍｍピッチ4探針プローブ
MODEL SEP-04は、針間隔が0.1mmピッチのシート抵抗測定用4探針プローブです。 針4本の距離が0.3mm(リニア)と微小のため電界エネルギーの影響範囲が小さく、小面積5x5mm のパッドの場合でもエッジから0.5mm付近までは電界電力の影響を受けずにシート抵抗測定をすることができます。
弊社マイクロポジショナー800MRFに取付固定ができます。お手持ちの実体顕微鏡と併用する事で微細な試料の抵抗率測定にご使用いただけます。
探針材質 タングステン（W） ベリリウム銅（BeCu）
探針先形状 フラット（F） ラウンド（R）
各探針間隔 0.1mm（総距離0.3mm） 0.3mm(総距離0.6mm)
リード線 90cm オプションでバナナプラグ等取り付けが可能です。
※このプローブは独自仕様となる為下記の仕様表には適合しません
針先の3Dイメージ。
40μR、100μR、150μR、200μR、400μR
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