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製品情報一覧 > 半導体・電子工業関連 > スパッタリング装置

レーザー干渉計測器

EXCEL PRECISION Corp.

→EXCEL PRECISION社へリンク

 弊社はエクセル・プレシジョン(米国EXCEL PRECISION社)の日本における販売代理店として、レーザー干渉計機器を取り扱っております。安定化ゼーマンを採用した2周波He-Neレーザー方式と光ヘテロダイン検出/シグナルプロセッサを組合せ、最小読み取り分解能0.3ナノの高精度で信頼性の高い測長変位計測を可能にし、さらに低コスト化のシステム構築が可能となります。エクセル・プレシジョン社は独自で設計、製造を行うレーザー干渉計測器のスペシャリストとして業界での地位を確立しおります。世界的に5000台以上の実績があります。
標準品のみならず、お客様のご要望に応じオーダーメイドのシステムも製作しています。

   第三の選択。エクセル・プレシジョン社レーザー干渉計測器
        御社のマシン。ガタツキはありませんか?
  
エクセル・プレシジョン社のレーザー干渉計測器があれば
  ナノレベルで精度チェックができます。

1100B 6要素校正システム

 1100B レーザー校正システムは
主に工作機械上の精度管理に
使用します。テーブルのガタつき
を一度に最大5要素まで検知しデ
ータ化できます。

1550A 角度センサー

 1550A 角度センサーは
面上やZ駆動部の微小変
位を色や反射率に左右さ
れず計測することができ
ます。

レーザー干渉計システム
     構築用資料

1100B レーザー干渉計測システム
     
6要素の精度計測 


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